45 lines
1.0 KiB
JSON
45 lines
1.0 KiB
JSON
{
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"metadata": {
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"version": "1.0",
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"description": "Description of the etcher recipe parameters",
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"maxParams": 5
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},
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"processVariables": {
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"real": [
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{
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"index": 0,
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"name": "Temperature hot plate",
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"unit": "degC",
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"min": 0.0,
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"max": 60.0
|
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},
|
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{
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"index": 1,
|
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"name": "Temperature cold plate",
|
|
"unit": "degC",
|
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"min": 0.0,
|
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"max": 60.0
|
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}
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],
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"string": [
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|
],
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"lreal": [
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|
],
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"dint": [
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{
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"index": 0,
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"name": "Greifer Nummer",
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"unit": "",
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"min": 1,
|
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"max": 3
|
|
},
|
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{
|
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"index": 1,
|
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"name": "Teller nummer",
|
|
"unit": "",
|
|
"min": 1,
|
|
"max": 3
|
|
}
|
|
]
|
|
}
|
|
} |